Mikro- und Nanotechnologie - MAS

Kurzbeschreibung
Das berufsbegleitende Masterprogramm Mikro- und Nanotechnologie ist ein Kooperationsprojekt der ZHAW, der Empa St. Gallen, der Interstaatlichen Hochschule für Technik Buchs NTB und der Fachhochschule Vorarlberg FHV und ein grenzüberschreitender Masterstudiengang nach östereichischem Recht.

Inhalt
Das Studium ist modular aufgebaut. Im Anschluss an die vier Semester Studienzeit folgt eine einsemestrige Masterarbeit, welche die Lösung einer konkreten prasixrelevanten Problemstellung beinhaltet.

Zielpublikum
Das Masterstudium richtet sich an IngenieurInnen aus den Bereichen Naturwissenschaften, Elektronik und Maschinenbau, die sich in Spezialgebieten der Mikro- und Nanotechnologie vertiefen wollen.

Curriculum

• Modul 1
  Technologie und Materialien der Mikrotechnik, Physikalische Grundlagen der Mikrotechnik, Dünnfilmbeschichtungen (PVD / CVD), Photolithographie, Ätzverfahren und Laserbearbeitung.
• Modul 2
  Nanomaterialien und –werkzeuge, Physikalische Eigenschaften von Oberflächen, Methoden der Oberflächenanalytik, Funktionscharakterisierung, Nanopositionierung und –manipulation.
  
• Modul 3
  Materialien und Oberflächen, Chemie von Materialien und Oberflächen, Polymere, Keramiken, Nanopulver/Nanopartikel, Oberflächenfunktionalisierung, Membrane, Nanoverbundwerkstoffe, Strukturierte Oberflächen, Nanobiotechnolgie und Soft-lithographie, Self Assembly sowie Nanotechnologie und Folgenabschätzung.
  
• Modul 4
  Bauteile, Systeme und Design für die Mikro- und Nanotechnologie, Anwendung der Materialien und Technologien auf Mikro- und Nanosysteme, Sensoren und Aktuatoren, Mikrooptik, Systemintegration, Simulation und Optimierung mit Software Entwurfswerkzeugen (CAE).

Beginn
20.09.2010

Ende
01.01.0001