Rasterelektronenmikroskopie (SEM Course)

Ein Schwerpunkt des Kurses ist die Praxis am Mikroskop, wobei auch auf selbständiges Arbeiten am Mikroskop Wert gelegt wird. Dafür stehen Ihnen die aktuellsten Rasterelektronenmikroskope (Zeiss Gemini, ESEM Quanta 600, ESEM Quanta 200 und Zeiss Ultra 55) mit Feldemissionsquellen und Röntgendetektoren zur Verfügung. Sie können auch eigene Proben mitbringen und dieselben unter fachkundiger Anweisung selbständig analysieren.

• Grundlagen (E)SEM (Theorie): Elektronenquellen - Linsen, Elektronen - Proben Wechselwirkungen, entstehende Signale
• SEM-Abbildungen (Theorie): Sekundär- und Rückstreuelektronendetektoren, Kontrastmechanismen (Topographie, Material)
• Bildaufnahme (Mikroskop): Arbeitsabstand, Fokus, Astigmatismus, Kontaminierung, Strahlenschaden
• Probenpräparation: Schliffe, Beschichtungsmethoden, etc.
• Röntgenanalyse (Theorie): Detektoren (wellenlängen-energiedispersiv), Artefakte, qualitative - quantitative Analysen und Elementarverteilungsbilder
• Grundlagen Röntgenspektometrie (Theorie): Informationstiefe, inelastische Streuung, Anwendung
• Aufnahme von Röntgenspektren (Mikroskop): Beschleunigungsspannung, Zählrate, Aufnahmezeit (Livetime - Deadtime), Spektren und Elementarverteilungsbilder
• Analyse der mitgebrachten Proben (Mikroskop)
• Weitere rasterelektronenmikroskopischen Methoden (Theorie): EBSD, Variable pressure SEM, Dual Beam (SEM-FIB)
• Alternative analytische Methoden (Theorie): Transmissionselektronenmikroskopie, Schwingungsspektroskopie