Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

Seminar

In Braunschweig

1.060 € MwSt.-frei

Beschreibung

  • Kursart

    Seminar berufsbegleitend

  • Niveau

    Anfänger

  • Ort

    Braunschweig

  • Dauer

    2 Tage

Sie erhalten Informationen aus erster Hand zu:

- Industriellen Einsatzgebieten zur Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
- der Sputtertechnik für Optische Systeme
- der Simulation von Plasmaprozessen
- der Schichtabscheidung mit hochionisierten Plasmen
- Neuen Trends in der Weiterentwicklung von Sputterprozessen
- Technik und industriellen Beispielen moderner Beschichtungsanlagen

Sie haben die Gelegenheit die Labore des Fraunhofer IST zu besichtigen!

Standorte und Zeitplan

Lage

Beginn

Braunschweig (Niedersachsen)
Karte ansehen
Bienroder Weg 54E, 38108

Beginn

auf Anfrage

Hinweise zu diesem Kurs

Geschäftsführer, Betriebs- und Produktionsleiter sowie Fach- und Führungskräfte aus dem Bereich Beschichtung der Optischen Industrie, dem Maschinen- und Anlagenbau und der Automobil- und Zulieferer­industrie Materialwissenschaftler, Physiker, Ingenieure und Techniker aus Entwicklung, Konstruktion, Fertigung und Qualitätssicherung

Fragen & Antworten

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Themen

  • Kathodenzerstäubung
  • Beschichtung
  • Sputtertechnik
  • Plasmaprozesse

Dozenten

Prof. Dr. Günter Bräuer

Prof. Dr. Günter Bräuer

Sicht- und Oberflächentechnik

Nach Abschluss seines Physikstudiums an der Justus Liebig-Universität Gießen arbeitete Herr Prof. Dr. Bräuer als Physiker in der Entwicklung bei Leybold-Heraeus in Hanau. Danach war er von 1992 bis 1999 als Leiter der Dünnschichtentwicklung bei der Leybold Systems GmbH tätig. Neben seiner Tätigkeit als Institutsleiter des Fraunhofer IST unterrichtet er als Professor für Schicht- und Oberflächentechnik an der Technischen Universität Braunschweig. Seit 2003 leitet er zudem das Institut für Oberflächentechnik an der TU Braunschweig.

Inhalte

Tag 1, 09:00 bis 17:45 Uhr1. Grundlagen der Kathodenzerstäubung

Plasmatechnische Grundlagen, Zerstäubungstheorie/Gesetzmäßigkeiten

Prof. Dr. Günter Bräuer

2. Magnetronzerstäubung

Die Magnetronkathode, Reaktive Sputterprozesse, Puls-Magnetron-Sputtern, Aktuelle Entwicklungen

Prof. Dr. Günter Bräuer

3. Tribologische Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile

Rezepte gegen Reibung und Verschleiß – Die Schichtfamilien und ihre Eigenschaften, Nitride und Karbide, Kohlenstoffbasierte Schichten, c-BN – Entwicklungsstand und Herausforderungen, Anlagentechnik und Verfahren

Dr. Martin Keunecke

4. Beispiele für industrielle Beschichtungsanlagen

Batch-Anlagen, Kurztaktanlagen, Durchlaufanlagen, Anlagen für Polymerfolien und metallische Bänder

Prof. Dr. Jörg Krempel-Hesse

5. Allgemeine Informationen zum IST und den Laboren

Prof. Dr. Günter Bräuer

6. Besichtigung der Labore des Fraunhofer-Instituts IST in Gruppen
  • Schichtanalytik und Schichtcharakterisierung
  • Zentrum für Tribologie
  • Großflächenbeschichtung und Präzisionsoptik
  • Gasfluss Sputteranlagen
  • Inline-Beschichtungen

Abendprogramm ab 19:00 Uhr:
  • Erfahrungsaustausch der Teilnehmer und Referenten bei einem ­gemeinsamen Abendessen im Restaurant „Zur Rheinischen Rpublik“

Tag 2, 08:30 bis 13:30 Uhr7. HIPIMS

Was ist HIPIMS?, Generatoren und Prozesstechnologie, Schicht­eigenschaften, Anwendungsbeispiele

Dr. Ralf Bandorf

8. Sputtertechnik für optische Schichten

Von kratzfest bis ultrapräzise: Anforderungen an optische Schichten, Varianten von Magnetron-Sputterprozessen, Zusammenhänge zwischen Schichteigenschaften und Plasmaparametern, Anlagenkonzepte, Aktuelle Entwicklungsbeispiele

Dr. Michael Vergöhl

9. Simulation von Plasmaprozessen

Dr. Andreas Pflug

10. Industrielle Anwendungen der Magnetronzerstäubung

Architekturglas, Optik und Großflächen­elektronik, Datenspeicher

Dr. Michael Liehr

11. Zusammenfassung und Ausblick/Diskussion

Prof. Dr. Günter Bräuer

Zusätzliche Informationen

finden Sie im Internet unter:

http://www.otti.de/veranstaltung/id/kathodenzerstaeubung-der-schluessel-fuer-innovative-duennschichtprodukte.html

Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

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