Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

Tag 1, 09:00 bis 17:45 Uhr1. Grundlagen der Kathodenzerstäubung

Plasmatechnische Grundlagen, Zerstäubungstheorie/Gesetzmäßigkeiten

Prof. Dr. Günter Bräuer

2. Magnetronzerstäubung

Die Magnetronkathode, Reaktive Sputterprozesse, Puls-Magnetron-Sputtern, Aktuelle Entwicklungen

Prof. Dr. Günter Bräuer

3. Tribologische Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile

Rezepte gegen Reibung und Verschleiß – Die Schichtfamilien und ihre Eigenschaften, Nitride und Karbide, Kohlenstoffbasierte Schichten, c-BN – Entwicklungsstand und Herausforderungen, Anlagentechnik und Verfahren

Dr. Martin Keunecke

4. Beispiele für industrielle Beschichtungsanlagen

Batch-Anlagen, Kurztaktanlagen, Durchlaufanlagen, Anlagen für Polymerfolien und metallische Bänder

Prof. Dr. Jörg Krempel-Hesse

5. Allgemeine Informationen zum IST und den Laboren

Prof. Dr. Günter Bräuer

6. Besichtigung der Labore des Fraunhofer-Instituts IST in Gruppen

• Schichtanalytik und Schichtcharakterisierung
• Zentrum für Tribologie
• Großflächenbeschichtung und Präzisionsoptik
• Gasfluss Sputteranlagen
• Inline-Beschichtungen

Abendprogramm ab 19:00 Uhr:

• Erfahrungsaustausch der Teilnehmer und Referenten bei einem ­gemeinsamen Abendessen im Restaurant „Zur Rheinischen Rpublik“

Tag 2, 08:30 bis 13:30 Uhr7. HIPIMS

Was ist HIPIMS?, Generatoren und Prozesstechnologie, Schicht­eigenschaften, Anwendungsbeispiele

Dr. Ralf Bandorf

8. Sputtertechnik für optische Schichten

Von kratzfest bis ultrapräzise: Anforderungen an optische Schichten, Varianten von Magnetron-Sputterprozessen, Zusammenhänge zwischen Schichteigenschaften und Plasmaparametern, Anlagenkonzepte, Aktuelle Entwicklungsbeispiele

Dr. Michael Vergöhl

9. Simulation von Plasmaprozessen

Dr. Andreas Pflug

10. Industrielle Anwendungen der Magnetronzerstäubung

Architekturglas, Optik und Großflächen­elektronik, Datenspeicher

Dr. Michael Liehr

11. Zusammenfassung und Ausblick/Diskussion

Prof. Dr. Günter Bräuer